ভ্যাকুয়াম ফার্নেস, অর্থাৎ, ফার্নেস চেম্বারের নির্দিষ্ট জায়গায়, ভ্যাকুয়াম সিস্টেম (ভ্যাকুয়াম পাম্প, ভ্যাকুয়াম মাপার ডিভাইস, ভ্যাকুয়াম ভালভ এবং অন্যান্য উপাদান দ্বারা সাবধানে একত্রিত) ফার্নেস চেম্বারে পদার্থের কিছু অংশ নিষ্কাশন করতে ব্যবহৃত হয়, যাতে ফার্নেস চেম্বারের চাপ একটি আদর্শ বায়ুমণ্ডলীয় চাপের চেয়ে কম, এবং চুল্লি চেম্বারের স্থানটি একটি ভ্যাকুয়াম অবস্থা অর্জন করতে ব্যবহৃত হয়, যা একটি ভ্যাকুয়াম ফার্নেস।
ভ্যাকুয়াম ফার্নেস এমন একটি ডিভাইস যা ভ্যাকুয়াম পরিবেশে উত্তপ্ত হয়। ফার্নেস চেম্বারটি একটি ধাতু বা কোয়ার্টজ গ্লাস কভার দিয়ে সিল করা চুল্লিতে উচ্চ ভ্যাকুয়াম পাম্প সিস্টেমে পাইপ করা হয়। চুল্লির ভ্যাকুয়াম ডিগ্রী 133×(10-2~10-4)Pa এ পৌঁছাতে পারে। চুল্লির গরম করার ব্যবস্থাটি প্রতিরোধের চুল্লির তারের (যেমন টাংস্টেন তারের মতো) বৈদ্যুতিক গরম দ্বারা সরাসরি উত্তপ্ত করা যেতে পারে, বা এটি উচ্চ-ফ্রিকোয়েন্সি আনয়ন দ্বারা উত্তপ্ত করা যেতে পারে। সর্বোচ্চ তাপমাত্রা প্রায় 3000 ডিগ্রিতে পৌঁছতে পারে। এটি প্রধানত সিরামিক ফায়ারিং, ভ্যাকুয়াম গলানোর, বৈদ্যুতিক ভ্যাকুয়াম অংশগুলির ডিগাসিং এবং অ্যানিলিং, ধাতব অংশগুলির ব্রেজিং এবং সিরামিক-ধাতু সিলিংয়ের জন্য ব্যবহৃত হয়।
